Установка используется для создания полупроводниковых структур в ходе производства наноэлектронных девайсов.
осаждение пленок
-
-
Представляем вашему вниманию дайджест событий научной жизни МФТИ,
информация о которых пришла к нам в последние две недели: с 20 июля по 2 августа.